Dispositifs et physique des microsystèmes sur silicium

Les microsystèmes sur silicium intégrés aux circuits numériques donnent une dimension nouvelle aux systèmes monopuces (ou SoC - System on Chip) en ajoutant des fonctionnalités à leur interface avec le monde réel (capteurs et actionneurs). Etant fabriqués en utilisant des procédés venant de la micro-électronique, les microsystèmes sur silicium sont appelés à jouer un rôle primordial dans les technologies de l'information et de la communication (TIC). En associant des fonctions mécaniques, optiques, thermiques, fluidiques, magnétiques ou même biochimiques avec une électronique de contrôle et de traitement de l'information très performante, les microsystèmes sont bien en passe de révolutionner le marché des semi-conducteurs. L'intégration des capteurs et des actionneurs dans les puces micro-électroniques ouvre un formidable éventail de possibilités. En effet, les puces de cette nouvelle génération peuvent devenir des systèmes autonomes, gérant de façon optimale leur consommation tout en récupérant de l'énergie environnante. Elles disposent de capacités de communication avec d'autres puces voisines, par des liens radio, optique, acoustique ou infrarouge. Fondamentalement, elles sont capables de percevoir leur environnement, d'analyser les données qui en émanent, et d'interagir en conséquence avec celui-ci.